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无尘车间

电子制造业洁净室的特点:

洁净度等级要求高,风量、温度、湿度、压差、设备排风按需受控,照度、洁净室截面风速按设计或规范受控,另外该类洁净室对静电要求极其严格。其中对湿度的要求尤甚。因为过于干燥的厂房内极易产生静电,造成 CMOS 集成损坏。


一般来说,电子厂房的温度应控制在 22℃左右,相对湿度控制在 50-60%之间(特殊洁净车间有相关温湿度规定)。 这时可有效地消除静电,并使人也感觉舒适。芯片生产车间、集成电路无尘室和磁盘制造车间是属于电子制造行业洁净。


室的重要组成部分,由于电子产品在制造、生产过程中对室内空气环境和品质的要求极为严格,主要以控制微粒和浮尘为主要对象,同时还对其环境的温湿度、新鲜空气量、噪声等作出了严格的规定。

1、电子制造厂万级洁净室内的噪声级(空态):不应大于 65dB(A)。

2、电子制造厂洁净室垂直流洁净室满布比不应小于 60%,水平单向流洁净室不应小于 40%,否则就是局部单向流了。

3、电子制造厂洁净室与室外的静压差不应小于 10Pa,不同空气洁净度的洁净区与非洁净区之间的静压差不应小于 5Pa。

4、电子制造行业万级洁净室内的新鲜空气量应取下列二项中的值:

(1)补偿室内排风量和保持室内正压值所需的新鲜空气量之和。

(2)保证供给洁净室内每人每小时的新鲜空气量不小于 40m3。

(3)电子制造行业洁净室净化空调系统加热器,应设置新风,超温断电保护,若采用点加湿时应设置无水保护,寒冷地区,新风系统应设置防冻保护措施。无尘室的送风量,应取下面三项值:保证电子制造厂无尘室空气洁净度等级的送风量;根据热,湿负荷计算确定电子厂洁净室的送风量;向电子制造厂洁净室给的新鲜空气量。